Hostname: page-component-cd9895bd7-gvvz8 Total loading time: 0 Render date: 2024-12-25T05:08:46.086Z Has data issue: false hasContentIssue false

La microstéréolithographie et ses applications

Published online by Cambridge University Press:  28 September 2005

Serge Monneret*
Affiliation:
Institut Fresnel, Domaine universitaire de Saint-Jérôme, 13397 Marseille Cedex 20, France
Get access

Abstract

Cet article a pour but de donner un aperçu des différents procédés de microstéréolithographie développés au niveau international. En effet, ces techniques connaissent actuellement un développement notable, grâce à des avancées technologiques importantes effectuées dans le domaine des afficheurs UV à micromiroirs, mais aussi grâce au contrôle de l'absorption à deux photons. Les applications qui en découlent concernent le micro-prototypage rapide, la micromécanique, mais aussi la microfluidique et de manière plus générale la réalisation de microcomposants tridimensionnels de formes complexes, y compris en matériaux frittés.

Type
Research Article
Copyright
© AFM, EDP Sciences, 2005

Access options

Get access to the full version of this content by using one of the access options below. (Log in options will check for institutional or personal access. Content may require purchase if you do not have access.)

References

Bertsch, A., Bernhard, P., Renaud, P., Microstereo-lithography: concepts and applications, Proceedings of 8th IEEE International Conference on Emerging Technologies and Factory Automation (ETFA 2001) 2 (2001) 289298
Dufaud, O., Corbel, S., Stereolithography of PZT ceramic suspensions, Rapid Prototyping Journal 8 (2002) 8390 CrossRef
Farsari, M., Claret-Tournier, F., Huang, S., Chatwin, C., Budgett, D., Birch, P., Young, R., Richardson, J., A novel high-accuracy micro-stereolithography method employing an adaptive electro-optic mask, J. Materials Proc. Technol. 107 (2000) 167172 CrossRef
K. Ikuta, T. Ogota, M. Tsubio, S. Kojima, Development of mass productive micro stereo lithography, Proc. of IEEE International Workshop on Micro Electro Mechanical Systems (MEM'96), 1996, pp. 301–306
Kato, J., Takeyasu, N., Adachi, Y., Sun, H., Kawata, S., Multiple-spot parallel processing for laser micro-nanofabrication, Appl. Phys. Lett. 86 (2005) 044102 CrossRef
Kawata, S., Sun, H.-B., Tanaka, T., Takada, K., Finer features for functional microdevices, Nature 412 (2001) 697698 CrossRef
Knitter, R., Göhring, D., Risthaus, P., Hausselt, J., Microfabrication of ceramic microreactors, Microsystems Technologies 7 (2001) 8590 CrossRef
Loubère, V., Monneret, S., Le Gall, H., Corbel, S., Microstereolithography using a dynamic mask for microactuators fabrication, Revue Internationale de CFAO et d'Informatique Graphique 15 (2000) 229243
Mizukami, Y., Rajniak, D., Rajniak, A., Nishimura, M., A novel microchip for capillary electrophoresis with acrylic microchannel fabricated on photosensor array, Sensors Actuators B 81 (2002) 202209 CrossRef
Monneret, S., Le Gall, H., Badé, V., Devaux, F., Mosset, A., Lantz, E., Dynamic UV microstereolithography, Eur. Phys. J. AP 20 (2002) 213218 CrossRef
S. Monneret, Microfabrication directe de pièces céramiques tridimensionnelles de formes complexes, Techniques de l'Ingénieur (2004)
Nakamoto, T., Yamaguchi, K., Abraha, P., Mishima, K., Manufacturing of three-dimensional micro-parts by UV laser induced polymerization, J. Micromech. Microeng. 6 (1996) 240253 CrossRef
C. Provin, S. Monneret, H. Le Gall, H. Rigneault, P.F. Lenne, H. Giovannini, New process for manufacturing ceramic microfluidic devices for microreactor and bioanalytical applications, dans Microreaction Technology, Editeur : Springer Verlag, Berlin, 2001, pp. 103–112
Provin, C., Monneret, S., Le Gall, H., Corbel, S., Three-dimensional ceramic microcomponents made using microstereolithography, Advanced Materials 15 (2003) 994997 CrossRef